MEMS: Perbedaan antara revisi
Konten dihapus Konten ditambahkan
k Bot: Perubahan kosmetika |
Sejarah |
||
| (Satu revisi perantara oleh satu pengguna lainnya tidak ditampilkan) | |||
Baris 2:
'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] [[mikro]] dan peraga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu ([[IC]]). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.
[[Berkas:Bug 1c.jpg|
Contoh [[aktuator]] mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan [[motor]] ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.
== Sejarah ==
Contoh awal dari perangkat MEMS adalah transistor gerbang resonansi, sebuah adaptasi dari transistor MOS yang dikembangkan oleh Harvey C. Nathanson pada tahun 1965.<ref>{{cite web|title=A resonant‐gate silicon surface transistor with high‐q band‐pass properties|url=https://pubs.aip.org/aip/apl/article-abstract/7/4/84/66546/A-RESONANT-GATE-SILICON-SURFACE-TRANSISTOR-WITH?redirectedFrom=fulltext|accessdate=2023-10-13|work=pubs.aip.org}}</ref> Contoh awal lainnya adalah resonistor, sebuah resonator monolitik elektromekanis yang dipatenkan oleh Raymond Wilfinger antara tahun 1966 dan 1971.<ref>{{cite web|title=Electromechanical monolithic resonator|url=https://patents.google.com/patent/US3614677A/en|accessdate=2023-10-13|work=patents.google.com}}</ref><ref>{{cite web|title=The Resonistor: A Frequency Selective Device Utilizing the Mechanical Resonance of a Silicon Substrate|url=https://ieeexplore.ieee.org/document/5391934|accessdate=2023-10-13|work=ieeexplore.ieee.org}}</ref> Pada tahun 1970-an dan awal 1980-an, beberapa mikrosensor pada MOSFET dikembangkan untuk mengukur parameter fisik, kimia, biologi, dan lingkungan.<ref>{{cite web|title=The impact of MOSFET-based sensors|url=https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/0250687485870098?via%3Dihub|accessdate=2023-10-13|work=www.sciencedirect.com}}</ref> Pada tahun 1997, produk komersial pertama yang menggunakan teknologi MEMS diperkenalkan: kartrid printer inkjet yang diproduksi oleh Hewlett-Packard.<ref>{{cite web|title=Why MEMS Matter: The Tiny Tech Transforming Our World|url=https://partstack.com/blog/why-mems-matter-the-tiny-tech-transforming-our-world/|accessdate=2023-10-13|work=partstack.com}}</ref>
== Jenis ==
Ada dua jenis utama teknologi sakelar MEMS: kapasitif dan ohmik. Sakelar MEMS kapasitif dirancang menggunakan pelat bergerak atau elemen penginderaan yang mengubah kapasitansi. Sakelar ohmik dikendalikan oleh kantilever yang digerakkan secara elektrostatis Sakelar MEMS ohmik dapat rusak karena kelelahan logam aktuator MEMS-(kantilever) dan keausan kontak karena kantilever dapat berubah bentuk dari waktu ke waktu.<ref>{{cite web|title=MEMS technology is transforming high-density switch matrices|url=https://www.electronicdesign.com/technologies/test-measurement/article/21209866/mems-technology-is-transforming-highdensity-switch-matrices|accessdate=2023-10-13|work=www.electronicdesign.com}}</ref>
== Referensi ==
| |||