Fabrikasi wafer (elektronik): Perbedaan antara revisi
Konten dihapus Konten ditambahkan
Tidak ada ringkasan suntingan |
Tidak ada ringkasan suntingan |
||
| (1 revisi perantara oleh pengguna yang sama tidak ditampilkan) | |||
Baris 1:
'''Fabrikasi wafer''' adalah [[prosedur]] yang terdiri dari banyak [[proses]] berurutan berulang untuk menghasilkan [[rangkaian listrik]] atau [[Fotonika|fotonik]] lengkap pada [[Wafer (elektronik)|wafer]] [[semikonduktor]] dalam proses [[fabrikasi perangkat semikonduktor]]. Contohnya termasuk produksi penguat frekuensi radio (RF), LED, komponen komputer optik, dan [[mikroprosesor]] untuk [[komputer]]. Fabrikasi wafer digunakan untuk membuat komponen dengan struktur listrik yang diperlukan.
{{multiple image
| align = right
| image1 = CMOS_fabrication_process.svg
| width1 = 200
| alt1 =
| caption1 =
| image2 = Photolithography_etching_process.svg
| width2 = 140
| alt2 =
| caption2 =
| footer = Ilustrasi sederhana proses fabrikasi inverter CMOS pada substrat tipe-p dalam mikrofabrikasi semikonduktor. Setiap langkah etsa dirinci pada gambar berikut. Catatan: Kontak gerbang, sumber, dan pembuangan biasanya tidak berada pada bidang yang sama pada perangkat sebenarnya, dan diagram tidak dapat diskalakan.
}}
Proses utama dimulai dengan insinyur kelistrikan merancang rangkaian dan mendefinisikan fungsinya, serta menentukan sinyal, input/output, dan voltase yang diperlukan. Spesifikasi rangkaian listrik ini dimasukkan ke dalam perangkat lunak desain sirkuit listrik, seperti SPICE, dan kemudian diimpor ke program tata letak sirkuit, yang serupa dengan yang digunakan untuk desain berbantuan komputer. Hal ini diperlukan agar lapisan dapat ditentukan untuk produksi masker foto. Resolusi sirkuit meningkat dengan cepat pada setiap langkah desain, karena skala sirkuit pada awal proses desain sudah diukur dalam pecahan mikrometer. Setiap langkah meningkatkan kepadatan sirkuit untuk area tertentu.
Baris 14 ⟶ 26:
== Produksi Wafer Silikon ==
=== Proses Produksi Wafer Silikon ===
Produksi wafer silikon dimulai dengan peleburan silikon murni. Kemudian, menggunakan heat gun atau tungku, memanaskannya, dan melakukan anil pada suhu tinggi.
Pindahkan setiap wafer silikon dari tungku ke alat yang disebut stensil etsa. Jadi, ia mengetsanya untuk menghilangkan bahan silikon yang tidak diinginkan. Bagian yang tersisa di bagian bawah stensil etsa adalah lapisan benih. Terakhir, poles untuk memperlihatkan permukaan kristal ingot silikon. Di bawah ini adalah rincian persiapan dan produksi.
;Persiapan Media Wafer Silikon
Tujuan dari pembuatan media wafer silikon adalah untuk menghilangkan bahan silikon yang tidak diinginkan, pada lapisan benih. Oleh karena itu, proses ini disebut sebagai produksi wafer silikon. Ini dimulai dengan uap yang menghilangkan bahan silikon yang tidak diinginkan. Kemudian, memanaskannya dalam oven secukupnya untuk menyelesaikan proses ini.
;Pertumbuhan Kristal dan Proses Pengirisan Wafer
Tempatkan benih kristal tunggal pada wadah wafer berputar untuk menumbuhkan silikon kristal pada lapisan benih. Setelah kristal tumbuh, kristal dipotong menjadi irisan tipis dan dikirim untuk pengujian dan pengemasan.
;Penyortiran Ketebalan
Wafer tersebut dkirimkan untuk disortir ketebalannya. Kemudian siap untuk proses kristalisasi.
;Proses Lapping & Etsa
Langkah selanjutnya dalam wafer adalah memutar dan mengetsa wafer. Kemudian lapping dengan cara memoles permukaan wafer silikon tersebut. Pada langkah ini, digunakan mesin lapping yang disebut lap-polisher.
;Penyortiran Ketebalan dan Pemeriksaan Kerataan
Wafer dengan ukuran dan kerataan yang sama kemudian dikemas dan dikirim untuk siap untuk proses selanjutnya.
=== Pemurnian Silikon Polikristalin Grade Elektronik (Polisilikon) ===
Silikon adalah unsur paling melimpah kedua di kerak bumi (oksigen adalah yang pertama). Ini terjadi secara alami di batuan dan pasir silikat (mengandung Si-O). Unsur silikon yang digunakan dalam pembuatan perangkat semikonduktor dihasilkan dari pasir kuarsa dan kuarsit dengan kemurnian tinggi, yang mengandung sedikit pengotor. Silikon kelas elektronik, nama yang digunakan untuk kelas silikon yang digunakan dalam pembuatan perangkat semikonduktor, adalah produk dari serangkaian proses yang dimulai dengan konversi pasir kuarsa atau kuarsit menjadi “silikon kelas metalurgi” (MG-Si), dalam mesin listrik. tungku busur menurut reaksi kimianya:
Baris 227 ⟶ 254:
== Lihat pula ==
* [[Fabrikasi semikonduktor]]
* [[Desain sirkuit terpadu]]
* [[Semikonduktor]]
| |||