Revisi per 14 Mei 2012 05.26 sunting Minsbot (bicara \| kontrib) Bot 1.265 suntingan k r2.7.2) (bot Mengubah: no:Mikroelektromekaniske systemer ← Revisi sebelumnya		Revisi per 5 Juli 2012 11.15 sunting balikkan EmausBot (bicara \| kontrib) Bot 581.847 suntingan k r2.7.2+) (bot Menambah: ca:Sistemes microelectromecànics Revisi selanjutnya →
Baris 9: [[ar:نظم كهروميكانيكية صغرى]] [[ca:Sistemes microelectromecànics]] [[cs:MEMS]] [[da:MEMS]]

MEMS: Perbedaan antara revisi