Revisi per 27 Juli 2014 12.45 sunting Aladdin Ali Baba (bicara \| kontrib) 18.782 suntingan Tidak ada ringkasan suntingan ← Revisi sebelumnya		Revisi per 26 November 2017 07.34 sunting balikkan HsfBot (bicara \| kontrib) Bot 1.172.010 suntingan k Bot: Perubahan kosmetika Revisi selanjutnya →
Baris 1: [[Berkas:Photoresist SEM micrograph.JPG\|~~thumb~~jmpl\|250px\|~~thumb~~jmpl\|SEM image of a photoresist layer used in semiconductor manufacturing taken on a field electron emission SEM. These SEMs are important in the semiconductor industry for their high-resolution capabilities.]] '''Fotoresis''' adalah bahan yang bereaksi jika terkena cahaya. Bahan ini jika dikenai cahaya akan larut (''fotoresis positif'') atau akan menjadi tidak larut atau mengeras (''fotoresis negatif''). Fotoresis digunakan dalam proses [[fotolitografi]] dan merupakan bagian dari proses di pembuatan [[microsystem]].

Fotoresis: Perbedaan antara revisi