[[Antoine Lavoisier]] dianggap sebagai penemu analisis unsur sebagai alat eksperimental kuantitatif untuk menilai komposisi kimia suatu senyawa. Pada saat itu, analisis unsur didasarkan pada penentuan [[gravimetri]] bahan penyerap spesifik sebelum dan sesudah [[adsorpsi]] selektif dari gas pembakaran.<ref>{{Cite [1]book|title=Quantitative Micro-Analysis of Organic Substances|last=Pregl|first=Fritz|publisher=Springer|year=1917|isbn=978-3-86444-914-7|location=Berlin}}</ref><ref>{{Cite web|url=https://www.nobelprize.org/nobel_prizes/chemistry/laureates/1923/pregl-lecture.html|title=Fritz Pregl - Nobel Lecture: Quantitative Micro-Analysis of Organic Substances|website=www.nobelprize.org|access-date=2016-07-04}}</ref> [2] Saat ini sistem yang sepenuhnya otomatis berdasarkan [[konduktivitas termal]] atau deteksi [[spektroskopi inframerah]] dari gas pembakaran, atau metode [[spektroskopi]] lainnya digunakan.
