MEMS: Perbedaan antara revisi

'''MEMS''' (''Micro Electro Mechanical Systems'') adalah reraga/struktur peralatan elektro-mekanik terdiri dari [[sensor]] mikro, [[aktuator]] [[mikro]] dan reragaperaga pendukung lainnya di dalam ukuran miniatur seukuran rangkaian keping terpadu ([[IC]]). Sebagaimana halnya dengan rangkaian keping terpadu, bahan substrat dasar yang digunakan untuk membuat MEMS komersial umumnya adalah silikon.

[[Berkas:Bug 1c.jpg|thumb|Tungau dengan ukuran kurang dari 1 mm berada pada peralatan MEMS]]
Contoh [[aktuator]] mikro yang terdapat pada MEMS adalah pompa mikro, pemancar (jet) mikro, dan [[motor]] ukuran mikro. Contoh sensor yang terdapat pada MEMS misalnya adalah sensor tekanan, sensor temperatur, dan sensor aliran dalam ukuran mikro. Dengan teknologi ini, pada saat ini sudah dimungkinkan mewujudkan apa yang disebut sebagai "''Lab on Chip''". Contoh dari produk ini misalnya apa yang dikenal sebagai ''DNA chip''.