Fotoresis

Fotoresis adalah bahan yang bereaksi jika terkena cahaya. Bahan ini jika dikenai cahaya akan larut (fotoresis positif) atau akan menjadi tidak larut atau mengeras (fotoresis negatif). Fotoresis digunakan dalam proses fotolitografi dan merupakan bagian dari proses di pembuatan microsystem.

Beberapa jenis fotoresis yang ada pada saat ini peka terhadap sinar ultraviolet, laser, pancaran elektron, ion, dan sinar-X.