Fotoresis

Revisi sejak 7 Juni 2007 21.36 oleh SieBot (bicara | kontrib) (bot Menambah: zh:光阻)

Photoresist adalah bahan yang bereaksi jika terkena cahaya. Bahan ini jika dikenai cahaya akan larut (photoresis positif) atau akan menjadi tidak larut atau mengeras (photoresist negatif). Photoresist digunakan dalam proses photolithography dan merupakan bagian dari proses di pembuatan microsystem.

Beberapa jenis photoresist yang ada pada saat ini peka terhadap sinar ultraviolet, laser, pancaran elektron, ion, dan sinar-X.