Boule (kristal silikon)
Boule adalah ingot kristal tunggal yang diproduksi dengan cara sintetis.
Satu boule silikon adalah bahan awal untuk sebagian besar sirkuit terpadu yang digunakan saat ini. Dalam industri semikonduktor boule sintetik dapat dibuat dengan beberapa metode, seperti teknik Bridgman dan proses Czochralski, yang menghasilkan bahan berbentuk batang silinder.[1][2]
Dalam proses Czochralski, kristal benih diperlukan untuk membuat kristal yang lebih besar, atau ingot. Kristal benih ini dicelupkan ke dalam silikon cair murni dan diekstraksi secara perlahan. Silikon cair tumbuh pada kristal benih dalam bentuk kristal. Saat benih diekstraksi, silikon mengeras dan akhirnya terbentuk boule silindris yang besar.
Boule kristal semikonduktor biasanya dipotong menjadi wafer melingkar menggunakan gergaji berlian lubang dalam atau gergaji kawat berlian, dan setiap wafer disusun dan dipoles untuk menghasilkan substrat yang sesuai untuk pembuatan perangkat semikonduktor pada permukaannya.
Proses ini juga digunakan untuk membuat safir, yang digunakan sebagai substrat dalam produksi LED biru dan putih, jendela optik dalam aplikasi khusus, dan sebagai penutup pelindung jam tangan.
Lihat pula
suntingReferensi
sunting- ^ Kimoto, Tsunenobu; Cooper, James A. (24 November 2014). Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Growth, Characterization. John Wiley & Sons. ISBN 9781118313527. Diakses tanggal March 1, 2017.
- ^ Dhanaraj, Govindhan; Byrappa, Kullaiah; Prasad, Vishwanath; Dudley, Michael (2010). Springer Handbook of Crystal Growth. Springer. ISBN 9783540747611. Diakses tanggal February 25, 2017.