Berikut ini merupakan riwayat perkembangan atas pembentukan daerah di Indonesia, terutama daerah provinsi sebagai wilayah administratif tingkat satu dan daerah kabupaten/kota sebagai wilayah administratif tingkat dua.

Masa sebelum kemerdekaan

Pada masa Hindia Belanda, wilayah Jawa terbagi menjadi tiga provinsi (provincie) yang dipimpin oleh gubernur (goeverneur) serta dua gubernemen (gouvernement) yang berada pada daerah Vorstenlanden (daerah di bawah kekuasaan keraton Surakarta, Yogyakarta, Mangkunegaran, dan Pakualaman). Semua provinsi dan kegubernuran tersebut dibagi lagi menjadi keresidenan (regentschap) yang dipimpin oleh residen (resident), lalu dibagi lagi menjadi kabupaten (regentschap) yang dipimpin oleh bupati (regent). Selain itu, terdapat pula daerah administratif geminte (stadgemeente) yang setingkat dengan kabupaten, dipimpin oleh burgemeester (wali kota), dan wilayahnya tumpang tindih dengan wilayah kabupaten yang lebih besar. Hingga tahun 1942, sebelum Hindia Belanda jatuh ke dalam tangan Jepang, pembagian administratif di wilayah Jawa adalah sebagai berikut.

Provinsi Jawa Barat
Provincie West-Java
Keresidenan/
residenties
Kabupaten & geminte/
regentschappen & stadgemeenten
Belanda Lokal
Banten
Bantam
Lebak Lebak
Pandeglang Pandeglang
Serang Serang
Batavia Batavia Betawi
Krawang Karawang
Meester-Cornelis Jatinegara
Batavia Betawi
Bogor
Buitenzorg
Buitenzorg Bogor
Soekaboemi Sukabumi
Tjiandjoer Cianjur
Buitenzorg Bogor
Soekaboemi Sukabumi
Priangan
Preanger
Bandoeng Bandung
Garoet Garut
Soemedang Sumedang
Tasikmalaja Tasikmalaya
Tjiamis Ciamis
Bandoeng Bandung
Cirebon
Cheribon
Cheribon Cirebon
Indramajoe Indramayu
Koeningan Kuningan
Madjalengka Majalengka
Cheribon Cirebon
Provinsi Jawa Tengah
Provincie Midden-Java
Keresidenan/
residenties
Kabupaten & geminte/
regentschappen & stadgemeenten
Belanda Lokal
Pekalongan Batang Batang
Brebes Brebes
Pekalongan Pekalongan
Pemalang Pemalang
Tegal Tegal
Pekalongan Pekalongan
Tegal Tegal
Banyumas
Banjoemas
Bandjarnegara Banjarnegara
Banjoemas Banyumas
Poerbalingga Purbalingga
Tjilatjap Cilacap
Kedu
Kedoe
Keboemen Kebumen
Magelang Magelang
Poerworedjo Purworejo
Temanggoeng Temanggung
Wonosobo Wonosobo
Magelang Magelang
Semarang Demak Demak
Grobogan Grobogan
Kendal Kendal
Semarang Semarang
Salatiga Salatiga
Semarang Semarang
Jepara
Rembang
Djepara–
Rembang
Blora Blora
Djepara Jepara
Koedoes Kudus
Pati Pati
Rembang Rembang
Provinsi Jawa Timur
Provincie Oost-Java
Keresidenan/
residenties
Kabupaten & geminte/
regentschappen & stadgemeenten
Belanda Lokal
Madiun
Madioen
Madioen Madiun
Magetan Magetan
Ngawi Ngawi
Patjitan Pacitan
Ponorogo Ponorogo
Madioen Madiun
Bojonegoro
Bodjonegoro
Bodjonegoro Bojonegoro
Lamongan Lamongan
Toeban Tuban
Kediri Blitar Blitar
Kediri Kediri
Ngandjoek Nganjuk
Toeloengagoeng Tulungagung
Blitar Blitar
Kediri Kediri
Surabaya
Soerabaja
Djombang Jombang
Modjokerto Mojokerto
Sidoardjo Sidoarjo
Soerabaja Surabaya
Modjokerto Mojokerto
Soerabaja Surabaya
Malang Loemadjang Lumajang
Malang Malang
Pasoeroean Pasuruan
Probolinggo Probolinggo
Malang Malang
Pasoeroean Pasuruan
Probolinggo Probolinggo
Besuki
Besoeki
Banjoewangi Banyuwangi
Bondowoso Bondowoso
Djember Jember
Panaroekan Panurukan
Madura
Madoera
Bangkalan Bangkalan
Pamekasan Pamekasan
Soemenep Sumenep
Gubernemen Yogyakarta
Gouvernement Jogjakarta
Keresidenan/
residenties
Kabupaten/regentschappen
Belanda Lokal
Yogyakarta
Jogjakarta
Adikarto Adikarto
Bantoel Bantul
Goenoeng-Kidul Gunungkidul
Jogjakarta Yogyakarta
Koelon-Progo Kulon Progo
Pakoealaman Pakualaman
Gubernemen Surakarta
Gouvernement Soerakarta
Keresidenan/
residenties
Kabupaten/regentschappen
Belanda Lokal
Surakarta
Soerakarta
Kota Mangkoenagaran Kota Mangkunagaran
Soerakarta Pandeglang
Sragen Sragen
Wonogiri Wonogiri
Klaten Bojolali Boyolali
Klaten Klaten

Daerah Luar dalam Hindia Belanda dibagi menjadi tiga gubernemen (gouvernement) yang dipimpin oleh gubernur (goeverneur), kemudian dibagi menjadi keresidenan (regentschap) yang dipimpin oleh residen (resident), lalu dibagi lagi menjadi afdeling (afdeeling) yang dipimpin oleh asisten residen (assistent-resident). Sama halnya dengan di Jawa, terdapat pula daerah administratif geminte (stadgemeente) yang setingkat dengan afdeling, dipimpin oleh burgemeester (wali kota), dan wilayahnya tumpang tindih dengan wilayah kabupaten yang lebih besar. Hingga tahun 1942, pembagian administratif di wilayah Daerah Luar adalah sebagai berikut.

Gubernemen Sumatera
Gouvernement Sumatra
Keresidenan/residenties Afdeling/afdeelingen & geminte/stadgemeenten
Belanda Lokal Belanda Lokal
Atjeh en Onderhoorigheden Aceh dan Dependensi Groot Atjeh Aceh Besar
Noordkust van Atjeh Aceh Utara
Oostkust van Atjeh met Alaslanden, Gajo Loeos en Serbodjadi Aceh Timur, Tanah Alas, Gayo Lues, dan Serbajadi
Westkust van Atjeh Aceh Barat
Tapanoeli Tapanuli Bataklanden Batak
Nias en omliggend eiland Nias dan Kepulauan
Padangsidimpoean Padangsidimpuan
Sibolga en Omstreken Sibolga dan Sekitarnya
Oostkust van Sumatra Sumatera Timur Asahan Asahan
Bengkalis Bengkalis
Deli en Serdang Deli Serdang
Langkat Langkat
Simaloengoen en Karolanden Simalungun dan Karo
Bindjai Binjai
Medan Medan
Pematangsiantar Pematangsiantar
Tandjoengbalai Tanjungbalai
Tebing Tinggi Tebing Tinggi
Sumatra's Westkust Sumatera Barat Agam Agam
Limapoeloeh Kota Lima Puluh Kota
Solok Solok
Tanah Datar Tanah Datar
Zuid Benedenlanden Pesisir Selatan
Bukittinggi Bukittinggi
Padang Padang
Sawahloento Sawahlunto
Riouw en Onderhoorigheden Riau dan Dependensi Indragiri Indragiri
Tandjoengpinang Tanjungpinang
Djambi Jambi Djambi Jambi
Benkoelen Bengkulu Benkoelen Bengkulu
Palembang Palembang Ogan en Komering-oeloe Ogan Komering Ulu
Palembangsche Benedenlanden Palembang Ulu
Palembangsche Bovenlanden Palembang Ilir
Palembang Palembang
Bangka en Onderhoorigheden Bangka dan Dependensi Bangka Bangka
Biliton Belitung
Lampongsche Districten Distrik-Distrik Lampung Teloekbetoeng Telukbetung
Gubernemen Borneo
Gouvernement Borneo
Keresidenan/residenties Afdeling/afdeelingen & geminte/stadgemeenten
Belanda Lokal
Borneo Barat
Westerafdeeling van Borneo
Ketapang Ketapang
Pontianak Pontianak
Singkawang Singkawang
Sintang Sintang
Borneo Selatan dan Timur
Zuider- en Oosterafdeeling van Borneo
Bandjermasin Banjarmasin
Boeloengan en Berau Bulungan dan Berau
Hoeloe Soengei Hulu Sungai
Koeala Kapoeas Kuala Kapuas
Samarinda Samarinda
Bandjermasin Banjarmasin
Gubernemen Timur Raya
Gouvernement Groote Oost
Keresidenan/
residenties
Afdeling/afdeelingen & geminte/stadgemeenten
Belanda Lokal
Bali dan Lombok
Bali en Lombok
Lombok Lombok
Singaradja Singaraja
Zuid-Bali Bali Selatan
Timor dan Dependensi
Bodjonegoro
Flores Flores
Soembawa Sumbawa
Soemba Sumba
Timor en eilanden Timor dan Kepulauan
Soenggoeminasa Kediri
Bonthain Nganjuk
Makassar Tulungagung
Blitar Blitar
Kediri Kediri
Surabaya
Soerabaja
Djombang Jombang
Modjokerto Mojokerto
Sidoardjo Sidoarjo
Soerabaja Surabaya
Modjokerto Mojokerto
Soerabaja Surabaya
Malang Loemadjang Lumajang
Malang Malang
Pasoeroean Pasuruan
Probolinggo Probolinggo
Malang Malang
Pasoeroean Pasuruan
Probolinggo Probolinggo
Besuki
Besoeki
Banjoewangi Banyuwangi
Bondowoso Bondowoso
Djember Jember
Panaroekan Panurukan
Madura
Madoera
Bangkalan Bangkalan
Pamekasan Pamekasan
Soemenep Sumenep