Berikut ini merupakan riwayat perkembangan atas pembentukan daerah di Indonesia, terutama daerah provinsi sebagai wilayah administratif tingkat satu dan daerah kabupaten/kota sebagai wilayah administratif tingkat dua.

Masa sebelum kemerdekaan

Masa kolonial Belanda

Pada masa kolonial Belanda, wilayah Hindia Belanda terbagi menjadi tiga provinsi (provincie) dan lima gubernemen (gouvernement), termasuk dua gubernemen yang berada pada daerah Vorstenlanden (daerah di bawah kekuasaan keraton Surakarta, Yogyakarta, Mangkunegaran, dan Pakualaman), semuanya dipimpin oleh gubernur (goeverneur). Semua provinsi dan kegubernuran tersebut dibagi lagi menjadi keresidenan (residentie) yang dipimpin oleh residen (resident). Semua keresidenan di Jawa dibagi menjadi kabupaten (regentschap) yang dipimpin oleh bupati (regent), sementara semua keresidenan di Daerah Luar dibagi menjadi afdeling (afdeeling) yang dipimpin oleh asisten residen (assistent-resident). Selain itu, terdapat pula daerah administratif geminte (stadgemeente) yang setingkat dengan kabupaten/afdeling, yang dipimpin oleh burgemeester ("wali kota") dan memiliki wilayah yang tumpang tindih dengan wilayah kabupaten/afdeling induk yang lebih besar.

Masa pendudukan Jepang

Pada masa pendudukan Jepang, wilayah Hindia Belanda dikendalikan oleh tiga divisi militer Jepang yang berbeda. Wilayah Jawa yang dikuasai oleh divisi Angkatan Darat XVI dibagi menjadi syuu (, shū) sebagai bekas keresidenan, yang dibagi lagi menjadi ken () dan si (, shi), masing-masing merupakan bekas kabupaten dan geminte. Syuu, ken, dan si masing-masing dipimpin oleh syuutyoo (州長, shūchō) sebagai ganti residen, kentyoo (県長, kenchō) sebagai ganti bupati, dan sityoo (市長, shichō) sebagai ganti burgemeester. Jakarta (sebelumnya Batavia) mendapat status tokubetu si (特別市, tokubetsu shi) di bawah pimpinan tokubetu sityoo (特別市長, tokubetsu shichō), karena daerah ini dikendalikan langsung di bawah pemerintah militer alih-alih di bawah syuu. AD XVI secara formal menghapus secara formal daerah administratif provinsi dan gubernemen, tetapi sebagai gantinya membentuk lima badan gunseibu (軍政部) yang masing-masing menjadi perpanjangan tangan pemerintahan militer di wilayah bekas provinsi Jawa Barat, Jawa Tengah, dan Jawa Timur, serta daerah bekas Vorstenlanden Surakarta dan Yogyakarta yang disebut kooti (公地, kōchi).

Wilayah Sumatra yang dikelola oleh Angkatan Darat XXV dibagi menjadi syuu (, shū) sebagai bekas keresidenan, yang dibagi lagi menjadi bunsyuu (分周, bunshū) dan si (, shi), masing-masing merupakan bekas afdeling dan geminte. Syuu, bunsyuu, dan si masing-masing dipimpin oleh syuutyoo (州長, shūchō) sebagai ganti residen, bunsyuutyoo (分周長, bunshūchō) sebagai ganti asisten residen, dan sityoo (市長, shichō) sebagai ganti burgemeester.